[发明专利]工艺腔体氧气浓度检测系统以及工艺腔体氧气浓度检测方法在审
| 申请号： | 201610355245.5 | 申请日： | 2016-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN105866348A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 顾海龙;裴雷洪;严骏 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工艺 氧气 浓度 检测 系统 以及 方法 | ||
【说明书】：
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