[发明专利]具有参考光束的激光位移传感器

权利要求书

1.一种可抑制激光漂移激光位移传感器，它由激光器、发射镜组、半反半透镜、反射镜、外壳、测控电路、电缆、光电器件、接收镜组、滤光片等部分组成，其特征在于，本发明的激光位移传感器发射镜组前端加入一个半反半透镜，从而产生两束激光：一束透过半反半透镜，形成测量光束；另一束经过半反半透镜后发射，形成参考光束。

2.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征是，所述的参考光束经过一个反射镜之后直接投向光电器件，形成参考波形。

3.此时光电器件上同时具有两个波形，当激光器的激光束产生指向性漂移时，两个波形的偏移量大小相等、而方向相反。

4.根据权利要求1所述的半反半透镜，其特征是，所述的半反半透镜的投射反射比例应不超过70%:30%，在保证测量光束具有足够的强度的同时，有效避免参考光束直接投向光电器件产生饱和现象。

5.根据权利要求1所述的反射镜，其特征是，所述的反射镜的布局需要保证投向光电器件的参考光束方向与接收镜组的光轴平行，从而保证参考波形与测量波形的对称性，以便消除激光指向性漂移的影响。

6.一种用于上述激光位移传感器的数据处理方法，利用测量波形与参考波形的位置之差作为被测位移值的表征，由此实现位移检测，而且可以消除激光指向性的漂移产生的测量误差。