[发明专利]内表面具有特征结构的保持环有效
| 申请号： | 201610366091.X | 申请日： | 2016-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN106181752B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 史蒂芬·马克·雷迪;西蒙·亚沃伯格;吴正勋;史蒂文·M·苏尼加;安德鲁·J·纳甘盖斯特;塞缪尔·楚-江·许;高塔姆·沙善·丹达瓦特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/32 | 分类号： | B24B37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 具有 特征 结构 保持 | ||
【权利要求书】：
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