[发明专利]硅片盒检测架

权利要求书

1.一种硅片盒检测架，其特征在于，包括：

滑动支架(4)，滑动支架(4)上连接有硅片模板(7)，并带动硅片模板(7)上下移动；

导向柱(5)，导向柱(5)插在滑动支架(4)上，并对滑动支架(4)的运动导向；

用于连接待检测硅片盒(10)的定位板(6)，定位板(6)固定在导向柱(5)的末端，且定位板(6)上设有与硅片模板(7)位置相对应并用于通过硅片模板(7)的通孔(6-1)，滑动支架(4)沿导向柱(5)滑动以使硅片模板(7)穿过上述通孔(6-1)并插入待检测硅片盒(10)。

2.根据权利要求1所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述硅片模板(7)的顶部连接有弹簧(9)，所述滑动支架(4)上设有弹簧接口(8)，硅片模板(7)通过所述弹簧(9)安装在所述滑动支架(4)的弹簧接口(8)上。

3.根据权利要求2所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述的硅片模板(7)的顶部通过一夹片块与所述弹簧(9)连接，夹片块具有与硅片模板(7)相配合的开槽，硅片模板(7)固定在上述开槽内，夹片块的顶部与弹簧(9)固定连接。

4.根据权利要求3所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述的导向柱(5)设有两个，所述滑动支架(4)的两端开有滑动通孔，导向柱(5)穿过上述滑动通孔，以便滑动支架(4)沿导向柱(5)上下移动。

5.根据权利要求4所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述硅片盒检测架还包括用于驱动滑动支架(4)上下移动的动力机构。

6.根据权利要求5所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述滑动支架(4)的上部设有把手(3)。

7.根据权利要求6所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述的导向柱(5)的顶端安装有限位板(2)，限位板(2)上设有锁紧销(1)。

8.根据权利要求1至7任一项所述的硅片盒检测架，其特征在于：所述定位板(6)与待检测硅片盒(10)连接处设有用于与待检测硅片盒(10)上的定位孔相配合的定位块(6-2)。