[发明专利]一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统及其使用方法在审
申请号: | 201610374405.0 | 申请日: | 2016-05-30 |
公开(公告)号: | CN107452585A | 公开(公告)日: | 2017-12-08 |
发明(设计)人: | 姜辛;邰凯平;刘鲁生;赵洋;靳群;乔吉祥 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;G01N23/04 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙)21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 原位 透射 仿真 环境 样品 系统 及其 使用方法 | ||
1.一种原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,该系统包括:气密圆形连接器、外围设备、样品杆、计算机、密封腔室、外场微型芯片,具体结构如下:
样品杆的一端设置气密圆形连接器,样品杆的另一端设置密封腔室,密封腔室内设置外场微型芯片,外围设备输出端通过管路、气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室,计算机输出端的线路穿过气密圆形连接器和样品杆内腔连至密封腔室。
2.按照权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,外场微型芯片上设置与透射电镜电子束对应的透明SiNx/SiOx窗口,待分析样品放置于SiNx/SiOx窗口上。
3.按照权利要求1所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统,其特征在于,管路采用与气密圆形连接器配套的微型管路,微型管路为电路、光路、气路或液路。
4.一种权利要求1至3之一所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统的使用方法,其特征在于,具体过程如下:
密封腔室作为一个微型反应腔体,各种流体介质从外围设备中,通过微型管路、气密圆形连接器和样品杆内腔直接进入密封腔室内形成仿真环境,再通过集成于密封腔室内的外场微型芯片施加光、热、电等外场信号;利用计算机精细监控各种仿真环境介质参数和外场条件,并实时记录;待分析样品放置于外场微型芯片中对电子束“透明”的SiNx/SiOx窗口上,实现在纳米尺度实时观测材料发生物理化学反应时的结构与成分演化。
5.按照权利要求4所述的原位透射电镜仿真环境样品杆系统的使用方法,其特征在于,流体介质为气体、液体或等离子体。
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