[发明专利]一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统

权利要求书

1.一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，其特征在于，它包括预脉冲高压电极(1)、左侧绝缘层(2)、主脉冲高压电极(3)、主脉冲地电极(4)和右侧绝缘层(5)，

预脉冲高压电极(1)、左侧绝缘层(2)、主脉冲高压电极(3)、主脉冲地电极(4)和右侧绝缘层(5)的横截面均为T型结构，且该T型结构均为轴对称结构，

预脉冲高压电极(1)的T型结构的顶端对称设置有两个通孔，

左侧绝缘层(2)的T型结构的顶端对称设置有四个孔，其中，左侧绝缘层(2)上内部两个对称设置的孔间距与预脉冲高压电极(1)的两个通孔的间距相等，左侧绝缘层(2)上外部的两个对称设置的孔为通孔，

主脉冲高压电极(3)的T型结构的顶端对称设置有六个孔，其中，主脉冲高压电极(3)上位于内部的两个对称设置的孔间距与左侧绝缘层(2)的内部的两个对称设置的孔间距相等，主脉冲高压电极(3)上位于中部的两个对称设置的孔间距与左侧绝缘层(2)的外部的两个通孔的孔间距相等，主脉冲高压电极(3)上位于外部的两个对称设置的孔为通孔，

左侧绝缘层(2)包裹在预脉冲高压电极(1)的外部，主脉冲高压电极(3)包裹在左侧绝缘层(2)的外部，且预脉冲高压电极(1)顶端的通孔与左侧绝缘层(2)上内部两个对称设置的孔和主脉冲高压电极(1)上位于内部的两个对称设置的孔相对应，且通过三者对应孔将三者固定，

左侧绝缘层(2)上外部的两个对称设置的孔与主脉冲高压电极(3)上位于中部的两个对称设置的孔对应，通过对应孔将左侧绝缘层(2)和主脉冲高压电极(3)固定，

主脉冲地电极(4)的T型结构的顶端对称设置有两个通孔，且该通孔的孔间距等于主脉冲高压电极外部的两个孔间距，螺丝穿入主脉冲地电极(4)上的通孔和主脉冲高压电极上的孔将主脉冲地电极(4)和主脉冲高压电极(3)固定，

主脉冲地电极(4)的T型结构的底端设置有一个通孔，螺丝通过该通孔将右侧绝缘层(5)与主脉冲地电极(4)固定，

右侧绝缘层(5)包裹在主脉冲地电极(4)的外部，

预脉冲高压电极(1)的底端和主脉冲地电极(4)的底端之间设置有毛细管。

2.根据权利要求1所述的一种用于毛细管放电EUV光源的负载系统，其特征在于，它还包括多个金属垫片，金属垫片包括两种，一种为厚度为1mm的金属垫片，另一种厚度为15mm的金属垫片，

预脉冲高压电极(1)的顶端的宽度和左侧绝缘层(2)顶端的宽度之间垫厚度为15mm的金属垫片，以控制二者尖端的距离；

主脉冲高压电极(3)的顶端的宽度和左侧绝缘层(2)的顶端的宽度之间垫厚度为1mm的金属垫片，以控制二者尖端的距离。