[发明专利]照明系统有效
申请号: | 201610378227.9 | 申请日: | 2016-05-31 |
公开(公告)号: | CN107450270B | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 刘柱;湛宾洲;景磊 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 照明 系统 | ||
1.一种照明系统,包括依次排列的光源、石英棒、照明对象,以及设置在所述光源和所述石英棒之间的折转模块,其特征在于,所述折转模块为全对称式结构;
所述折转模块包括第一棱柱、第二棱柱、第三棱柱、第四棱柱,其中所述第一棱柱和第二棱柱的尺寸相同,所述第三棱柱和第四棱柱的尺寸相同,第一棱柱、第二棱柱、第三棱柱以及第四棱柱均具有两个相对的平行四边形面和四个矩形面,所述第一棱柱和第二棱柱的一个具有相同尺寸的矩形面沿边缘相接作为进光端,所述第三棱柱和第四棱柱的一个具有相同尺寸的矩形面沿边缘相接作为出光端,所述出光端面总面积与入光端面总面积相等,射入所述折转模块的入光端的一部分光线依次经过第一棱柱和第四棱柱,然后射出所述折转模块,射入所述折转模块的入光端的另一部分光线依次经过第二棱柱和第三棱柱,然后射出所述折转模块。
2.如权利要求1所述的照明系统,其特征在于,还包括椭球碗组件、耦合透镜组、微透镜阵列、中继透镜组,他们依次的排列顺序是所述光源、所述椭球碗组件、所述耦合透镜组、所述折转模块、所述微透镜阵列、所述石英棒、所述中继透镜组以及所述照明对象。
3.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,所述折转模块的入光端为正方形。
4.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,所述第一棱柱的平行四边形面的内角分别为45度和135度。
5.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,所述第一棱柱的长宽比为1:2的矩形面与所述第二棱柱的长宽比为1:2的矩形面组成所述折转模块的正方形入光端,所述第三棱柱的长宽比为1:2的矩形面与所述第四棱柱的长宽比为1:2的矩形面组成所述折转模块的长宽比为1:4的出光端。
6.如权利要求5所述的照明系统,其特征在于,所述第一棱柱、第二棱柱、第三棱柱、第四棱柱的斜面镀反射膜,所述入光端和出光端镀增透膜。
7.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,所述折转模块的入光端位于所述耦合透镜组的像方焦面处。
8.如权利要求2所述的照明系统,其特征在于,所述折转模块的入光端位于所述椭球碗组件的焦点处,所述耦合透镜组的物方焦面与所述折转模块的出光端重合。
9.如权利要求2至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,所述光源和耦合透镜组的物方焦面分别位于椭球碗组件的两个焦点上。
10.如权利要求2至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,所述中继透镜组的物方焦面与所述石英棒的出光端重合。
11.如权利要求2至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,所述照明对象位于所述中继透镜组的像方焦面处。
12.如权利要求2至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,所述耦合透镜组为4个全为球面的4片镜片结构组成,包括依次排列的耦合前组、滤波片和耦合后组,所述耦合前组和耦合后组的光焦度均为正。
13.如权利要求2至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,所述中继透镜组包括依次排列的第一中继组、第二中继组和第三中继组。
14.如权利要求1至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,所述光源为高压汞灯。
15.如权利要求2至8中任一所述的一种照明系统,其特征在于,还包括第一反射镜和第二反射镜,所述第一反射镜位于所述椭球碗组件与所述耦合透镜组之间,所述第二反射镜位于所述中继透镜组和所述照明对象之间。
16.如权利要求15所述的一种照明系统,其特征在于,所述第一反射镜和第二反射镜分别为冷光镜。
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