[发明专利]双叶门快门装置、光刻机曝光系统及光刻机

权利要求书

1.一种双叶门快门装置，其特征在于：包括主动旋转轴、被动旋转轴、第一曲柄摇杆组件、第二曲柄摇杆组件、第一叶片和第二叶片，所述第一叶片经所述第一曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述第二叶片经所述第二曲柄摇杆组件被所述主动旋转轴驱动绕所述被动旋转轴旋转，所述主动旋转轴和被动旋转轴的轴心互相平行；所述第一叶片和第二叶片随着所述主动旋转轴的旋转分别沿顺时针和逆时针绕所述被动旋转轴做同幅度旋转，从而实现所述第一叶片与第二叶片的接合与打开；在叶片完全打开和关闭的状态位置时曲柄和连杆是共线分布的，且此时两套曲柄摇杆机构是基于垂向面对称分布的。

2.如权利要求1所述的双叶门快门装置，其特征在于：所述第一曲柄摇杆组件包括第一连杆、第一摇杆和第一曲柄，所述第二曲柄摇杆组件包括第二连杆、第二摇杆和第二曲柄，所述第一曲柄和第二曲柄的一端均与所述主动旋转轴固定连接，从而实现同步旋转，所述第一连杆的一端旋转连接所述第一曲柄的另一端，所述第二连杆的一端旋转连接所述第二曲柄的另一端，所述第一连杆的另一端旋转连接所述第一摇杆的一端，所述第二连杆的另一端旋转连接所述第二摇杆的一端，所述第一摇杆与第一叶片同步旋转，所述第二摇杆与第二叶片同步旋转，且所述第一摇杆、第一叶片、第二摇杆和第二叶片均旋转连接于所述被动旋转轴。

3.如权利要求2所述的双叶门快门装置，其特征在于：所述第一叶片和第二叶片接合状态和/或完全打开状态下，所述第一曲柄和第二曲柄与所述第一叶片和第二叶片的接合线所在直线的夹角相同。

4.如权利要求2所述的双叶门快门装置，其特征在于：所述第一叶片和第二叶片接合状态和/或完全打开状态下，所述第一连杆和第二连杆与所述第一叶片和第二叶片的接合线所在直线的夹角相同，所述第一摇杆和第二摇杆与所述第一叶片和第二叶片的接合线所在直线的夹角相同。

5.如权利要求2所述的双叶门快门装置，其特征在于：所述第一曲柄和第二曲柄通过绕所述主动旋转轴的轴心旋转180度实现接合与完全打开状态的转换。

6.如权利要求1所述的双叶门快门装置，其特征在于：所述主动旋转轴被动力装置驱动旋转。

7.如权利要求1所述的双叶门快门装置，其特征在于：所述第一曲柄摇杆组件和第二曲柄摇杆组件沿所述主动旋转轴和被动旋转轴的轴向方向错位布置。

8.一种光刻机曝光系统，其特征在于：包括如权利要求1至7任意之一所述的双叶片快门装置以及光源，所述光源位于所述双叶片快门装置的一侧，从而使得光能经打开的所述第一叶片和第二叶片之间穿过。

9.如权利要求8所述的光刻机曝光系统，其特征在于：所述光源采用高压汞灯。

10.一种光刻机，其特征在于：包括如权利要求8所述的光刻机曝光系统。