[发明专利]基于微悬臂投影的光电式加速度传感器有效
申请号: | 201610382181.8 | 申请日: | 2016-06-01 |
公开(公告)号: | CN106093469B | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 钱林茂;汪红波;蒋淑兰;李斌;余丙军;陈磊 | 申请(专利权)人: | 西南交通大学 |
主分类号: | G01P15/093 | 分类号: | G01P15/093 |
代理公司: | 成都博通专利事务所 51208 | 代理人: | 陈树明 |
地址: | 610031 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 悬臂 投影 光电 加速度 传感器 | ||
【权利要求书】:
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