[发明专利]扫描探测显微镜有效
| 申请号： | 201610384517.4 | 申请日： | 2016-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN106229247B | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 安藤和德 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/26;G01Q30/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张雨;李婷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 探测 显微镜 | ||
【说明书】：
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