[发明专利]无限兼有限共轭差动探测寻焦光电像分析器及其方法

权利要求书

1.无限兼有限共轭差动探测寻焦光电像分析器，其特征在于，包括：零视度准直镜(1)、准直镜支撑机构(13)、五自由度x-y-z-α-θ调整工作台(3)、像分析器支撑机构(4)、x向寻焦移动导轨(5)、x向寻焦移动导轨位移监测系统(6)、寻焦清晰图像采集器(7)、测量物镜(14)和计算机测控系统(22)，其特征在于：寻焦清晰图像采集器(7)包括第一分光镜(8)、面阵探测CCD(9)、第二分光镜(23)、第一针孔(10)、第一光电探测器(11)、第二针孔(26)、第二光电探测器(27)、计算机测控系统(22)；

其中像分析器支撑机构(4)位于五自由度x-y-z-α-θ调整工作台(3)上，而零视度准直镜(1)、准直镜支撑机构(13)、x向寻焦移动导轨(5)、x向寻焦移动导轨位移监测系统(6)、寻焦清晰图像采集器(7)位于像分析器支撑机构(4)，并随像分析器支撑机构(4)一起通过五自由度x-y-z-α-θ调整工作台(3)调节无限远共轭目标光学系统(12)和有限远共轭目标光学系统(15)测试时的相对位置；

面阵探测CCD(9)的探测面位于像方汇聚光束(2)被第一分光镜(8)反射的反射像方汇聚光束(17)的焦面位置；

第一针孔(10)位于透射像方汇聚光束(17)经第二分光镜(23)透射的像方汇聚透射光束(25)焦点的远焦位置-M处，第一光电探测器(11)位于第一针孔(10)之后；第二针孔(26)位于经第二分光镜(23)反射的像方汇聚反射光束(24)焦点的近焦位置M处，第二光电探测器(27)位于第二针孔(26)之后。

2.根据权利要求1所述的无限兼有限共轭差动探测寻焦光电像分析器，其特征在于：准直镜支撑机构(13)前端配做连接结口，使零视度准直镜(1)与测量物镜(14)组合使用，以满足有限远共轭目标光学系统(15)光电系统参数的测试。

3.无限兼有限共轭差动探测寻焦光电像分析方法，其特征在于：1)利用第一分光镜(8)将像方汇聚光束(2)分成透射像方汇聚光束(17)和反射像方汇聚光束(16)两路，通过对第一分光镜(8)透射的透射像方汇聚光束(17)进行高精度差动共焦定焦达到对第一分光镜(8)反射的反射像方汇聚光束(16)的精确定焦，实现无限远共轭目标光学系统(12)像方汇聚光束(2)焦面图像的清晰采集与位置测定，最终实现无限远共轭目标光学系统(12)参数的高精度测试；2)在零视度准直镜(1)中通过测量物镜(14)的选配加入，再利用寻焦清晰图像采集器(7)对像方汇聚光束(2)焦点变化位置的测定，来实现有限远共轭目标光学系统(15)光学参数的测试；3)通过五自由度x-y-z-α-θ调整工作台(3)的平移及旋转，实现无限远共轭目标光学系统(12)和有限远共轭目标光学系统(15)轴上、轴外视场和折轴系统光学参数的综合测量。