[发明专利]一种多样品多通道自动切换进样系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种多样品多通道自动切换进样系统。

背景技术

多层化学沉积镀膜作为二维镀膜等一系列材料研究领域中的一种新方式，有了新的研究方向，更多地集中在固态和液态沉积源的多层沉积生长，多层沉积需要沉积源进行切换，但目前由于实验设备的局限，很多实验是在一层沉积完后再更换沉积源和设备进行多次的化学反应沉积和物理沉积，由于被沉积物与沉积源需要打开设备后更换，无法避免污染，并且沉积需要反复的打开停止设备以用来更换物料，操作繁琐。所以需要一种简化操作，在一次实验中可以实现切换物料并且多通道的多种沉积源自动切换的设备。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种多样品多通道自动切换进样系统，以克服上述不足。

为解决上述技术问题，本发明提供以下技术方案：一种多样品多通道自动切换进样系统，

包括切换舱室，所述切换舱室一侧设置有至少两个沿横向X轴水平分布的进给通道、另一侧设置有分别与各进给通道相对应的进料通道，所述进给通道通过切换舱室的内腔与对应的进料通道相连通；

包括切换机构，所述切换机构包括与进给通道相等数量的物料舱匣、用于驱动物料舱匣在切换舱室内沿着与横向X轴垂直的方向直线往复移动的切换驱动机构，所述物料舱匣上开设有至少两个沿着物料舱匣移动方向分布的、与进给通道及进料通道相对应的物料舱室，所述物料舱室内放置有带连接环的物料坩埚；

包括进给机构，所述进给机构包括与各进给通道相对应的推送杆、用于驱动各推送杆沿着横向X轴直线往复移动的进给驱动机构，所述推送杆上对应切换舱室的一端设置有与物料坩埚的连接环相配合的钩子；

包括控制系统，所述控制系统分别连接切换驱动机构和进给驱动机构，并用于分别控制切换驱动结构、进给驱动机构的启停。

针对物料舱匣的移动方向优先的，所述物料舱匣在切换舱室内沿着与横向X轴垂直的竖向Z轴直线往复移动。

针对物料舱匣的移动方向优先的，所述物料舱匣在切换舱室内沿着与横向X轴垂直的纵向Y轴直线往复移动。

针对切换驱动机构具体技术特征优先的，所述切换舱室包括有可拆卸密封连接的盖板，所述切换驱动机构包括固定在盖板上的滑轨座、与滑轨座滑动配合的第一滑动台、固定杆、与控制系统连接的第一步进电机，所述固定杆一端固定连接在第一滑动台上、另一端可上下移动地穿过盖板后固定连接在物料舱匣上，所述第一步进电机通过丝杠驱动第一滑动台在滑轨座上沿着物料舱匣的移动方向滑动。

在上述方案基础上，所述固定杆外套设有用于动态密封的第一压缩波纹管。

针对进给驱动机构具体技术特征优先的，所述进给驱动机构包括滑动底板、与滑动底板滑动配合的第二滑动台、与控制系统连接的第二步进电机，所述推送杆上与钩子位置对立的一端固定在第二滑动台上，所述第二步进电机通过丝杆驱动第二滑动台在滑动底板上沿着横向滑动。

在上述方案基础上，所述推送杆外套设有用于动态密封的第二压缩波纹管。

在上述方案基础上，还包括有用于驱动切换驱动机构沿着物料舱匣移动方向滑动的拆装驱动装置，所述拆装驱动装置包括滑轨架、滑动配合在滑轨架上的第三滑动台、与控制系统连接的第三步进电机，所述第三步进电机通过丝杠驱动第三滑动台在滑轨架上沿着物料舱匣移动方向滑动，所述切换驱动机构的滑轨座固定在第三滑动台上。

在上述方案基础上，所述推送杆内设置有温度传感器，所述温度传感器连接于控制系统。

在上述方案基础上，所述进给通道相互并排间隔地分布。

本发明与现有技术相比具有的有益效果是：本发明提供的切换进样系统，其物料舱匣置于切换舱室内，并在切换驱动装置驱动作用实现不同物料舱室的切换，进而实现不同物料舱室与进给通道、进料通道的配合；同时，推送杆在进给驱动机构驱动作用下，推送或拉回物料舱室内的物料钳锅，通过控制系统设定切换驱动机构与进给驱动机构的启停配合时间，实现多样品多通道的自动切换和自动进给，操作方便。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明切换驱动机构被拆装驱动装置抬升后的结构示意图；

图3为本发明切换驱动机构与物料舱匣配合的结构示意图；

图4为本发明切换驱动机构的结构示意图；

图5为本发明切换舱室结构示意图；

图6为本发明进给驱动机构结构示意图；

图7为本发明控制系统工作原理示意图；

图8为本发明操作步骤（1）中钩子与连接环位置关系示意图；