[发明专利]一种离子加速管

权利要求书

1.一种离子加速管，其特征在于，所述的离子加速管包括入口聚焦加速电极Ⅰ（1），入口聚焦加速电极Ⅱ（2），中间加速电极Ⅰ（3），中间加速电极Ⅱ（4），出口散焦加速电极Ⅰ（5），出口散焦加速电极Ⅱ（6），入口阻止电极（7），漂移管（8），出口阻止电极（9）；离子束在入口沿轴线注入，在聚焦加速电极Ⅰ（1）和入口聚焦加速电极Ⅱ（2）区间获得电场加速和聚焦，之后进入中间加速电极Ⅰ（3）和中间加速电极Ⅱ（4）获得电场加速，之后进入出口散焦加速电极Ⅰ（5）和出口散焦加速电极Ⅱ（6）获得电场加速和散焦，然后，离子束通过入口阻止电极（7），进入漂移管（8），最后，离子束从出口阻止电极（9）输出；

所述的入口聚焦加速电极Ⅰ（1）的入口段是倾斜α角的圆锥形表面，入口的孔径为d1，α角的范围是20°～40°，中间段是等直段，等直段的孔径为d2，出口段是圆环形结构，出口段的内径为d3，d1<d3<d2；

所述的入口聚焦加速电极Ⅱ（2）为中心开直径d4的圆孔平板，d3<d4；

所述的中间加速电极Ⅰ（3）为中心开直径d5的圆孔平板，中间加速电极Ⅱ（4）为中心开直径d6的圆孔平板，d4<d5，d5=d6；

所述的出口散焦加速电极Ⅰ（5）与入口聚焦加速电极Ⅱ（2）的结构一致，与入口聚焦加速电极Ⅱ（2）呈镜像对称布置，d7=d4；

所述的出口散焦加速电极Ⅱ（6）与入口聚焦加速电极Ⅰ（1）的结构一致，与入口聚焦加速电极Ⅰ（1）呈镜像对称布置，d8=d3，d9=d2，d10=d1。

2.根据权利要求1所述的离子加速管，其特征在于，所述的入口阻止电极（7）和出口阻止电极（9）具有相同的电位，电位低于漂移管（8）的电位。

3.根据权利要求1所述的离子加速管，其特征在于，所述漂移管（8）与出口散焦加速电极Ⅱ（6）的电位相同。