[发明专利]一种基于气致动的干粘附复合结构及制造工艺

权利要求书

1.一种基于气致动的干粘附复合结构，其特征在于：顶层为蘑菇状阵列结构(2)，底层为周期性阵列结构的气阀板(4)，气阀板(4)和蘑菇状阵列结构(2)通过一层低表面能材料(3)粘结成为一个整体，气阀板(4)的通孔(5)与气压机连接。

2.根据权利要求1所述的一种基于气致动的干粘附复合结构，其特征在于：所述的蘑菇状阵列结构(2)和低表面能材料(3)采用聚二甲基硅氧烷PDMS。

3.根据权利要求1所述的一种基于气致动的干粘附复合结构，其特征在于：所述的气阀板(4)采用有机玻璃材料。

4.根据权利要求1所述的一种基于气致动的干粘附复合结构的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：

第一步，顶层的蘑菇状阵列结构(2)的制备：在基材(7)的表面旋涂一层厚度为微米级别的光刻胶(8)，利用双面曝光技术在光刻胶(8)上实现蘑菇状阵列的反型结构，进而采用旋涂工艺在反型结构的光刻胶(8)表面制备一层厚度为微米级别的聚二甲基硅氧烷PDMS；

所述的基材(7)为载玻片或Si片，所述的光刻胶(8)为EPG 533或AZ系列光刻胶；

第二步，底层的气阀板(4)的制造：气阀板(4)用机加工的方式制造；

第三步，复合结构的耦合成型：在第一步制备的蘑菇状阵列结构(2)的底面旋涂一层低表面能材料(3)，然后把气阀板(4)和蘑菇状阵列结构(2)粘结成一个整体，然后利用超声剥离工艺去除与蘑菇状结构粘附在一起的光刻胶(8)，最终去除光刻胶(8)和基材(7)，得到基于气致动的复合结构。