[发明专利]电容型压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201610398621.9 | 申请日： | 2016-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN106092385A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 孙蓉;帅行天;朱朋莉;胡友根 | 申请（专利权）人： | 中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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