[发明专利]测量膜制造设备上的实时膜厚度的全宽阵列成像传感器的用途有效
| 申请号： | 201610398755.0 | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN106257234B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | P·S·博尼诺;R·P·赫尔洛斯基;J·M·勒费夫尔 | 申请（专利权）人： | 施乐公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 郑建晖;关丽丽 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测量 制造 设备 实时 厚度 阵列 成像 传感器 用途 | ||
【说明书】：
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