[发明专利]一种撕金去胶工艺的金属回收系统在审
| 申请号： | 201610399599.X | 申请日： | 2016-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN107469456A | 公开（公告）日： | 2017-12-15 |
| 发明（设计）人： | 耿克涛 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/04 | 分类号： | B01D36/04;C22B7/00;C22B11/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 撕金去胶 工艺 金属 回收 系统 | ||
1.一种撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：包括单元腔体(2)、一级过滤系统及二级过滤系统，其中，
所述一级过滤系统设置于单元腔体(2)内，用于撕金去胶工艺的初步金属回收；
所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置；
所述废液金属回收装置通过排液管路与单元腔体(2)的排废接口(12)连接，用于废液的金属回收；
所述废气金属回收装置通过排风管路与单元腔体(2)的排风接口(5)连接，用于废气的金属回收。
2.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述一级过滤系统包括排风过滤网(4)和排废口过滤网(11)，所述排风过滤网(4)和排废口过滤网(11)分别设置于排风接口(5)和排废接口(12)上。
3.根据权利要求2所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述一级过滤系统进一步包括金属膜挡板(9)，所述金属膜挡板(9)设置于单元腔体(2)内晶圆(3)的周围。
4.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述废气金属回收装置包括气液分离盒(15)和气液分离过滤网(14)，所述气液分离过滤网(14)设置于气液分离盒(15)内，所述气液分离盒(15)的顶部和底部分别设有气液分离排风接口(13)和气液分离排液口(16)，其中气液分离排风接口(13)与单元腔体(2)的排风接口(5)连通，所述气液分离排液口(16)与金属沉淀池(7)连通。
5.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述废液金属回收装置包括金属沉淀池(7)和过滤提篮(8)，所述过滤提篮(8)设置于金属沉淀池(7)内，所述金属沉淀池(7)的侧壁上由上至下依次设有废液溢流口(17)、废液排出口(18)及废液泵出口(19)。
6.根据权利要求5所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述过滤提篮(8)通过螺栓固定在金属沉淀池(7)的内壁上、并处于悬吊状态。
7.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述排风接口(5)为两个，两个排风接口(5)对称设置于单元腔体(2)的两侧。
8.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述单元腔体(2)的底部设有两个排废接口(12)，两个排废接口(12)通过管路与金属沉淀池(7)的进液口连通。
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