[发明专利]一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置有效
| 申请号： | 201610405784.5 | 申请日： | 2016-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN105910572B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 张珑;郑列华;张金平;叶璐;刘政;胡文琦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20;G01L5/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反射镜 平衡杠杆 浮动头 接触力 橡胶垫 支撑力 轴承座 气缸 浮动支撑 力传感器 竖直向上 可控型 顶杆 芯轴 浮动支撑装置 气缸安装板 控制气缸 驱动顶杆 轴承安装 自动保持 可检测 可控制 气缸座 支撑杆 检测 气压 销轴 小轴 轴承 镜子 | ||
【说明书】：
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