[发明专利]成膜装置、成膜方法以及基板载置台有效
| 申请号： | 201610425922.6 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN106256923B | 公开（公告）日： | 2018-09-28 |
| 发明（设计）人： | 田中诚治;里吉务 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/54;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 方法 以及 基板载置台 | ||
【权利要求书】：
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