[发明专利]一种多工位扩散炉控制装置

说明书

技术领域

本发明涉及扩散炉领域，尤其涉及一种多工位扩散炉控制装置。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。目前，扩散炉普遍需要操作人员根据工艺要求手动调节仪表的参数来实现对炉体温度的控制,因而其温度控制精度、生产工艺控制能力等较低,从而导致了产品质量差、生产效率低的缺陷。

发明内容

本发明的目的在于通过一种多工位扩散炉控制装置，来解决以上背景技术部分提到的问题。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种多工位扩散炉控制装置，其包括显示屏、可编程逻辑控制器、模数转换器、若干温度采集模块以及若干压力采集模块；所述显示屏连接可编程逻辑控制器；所述模数转换器连接可编程逻辑控制器；所述若干温度采集模块测量其所在工位的炉口、炉中、炉尾的温度，输出给模数转换器；所述若干压力采集模块采集所在罐体的炉膛压力，输出给模数转换器。

特别地，所述显示屏选用触摸液晶屏。

特别地，所述温度采集模块采用铂热电偶。

本发明提出的多工位扩散炉控制装置以可编程逻辑控制器为核心,实现了对扩散炉温度和工艺过程的检测与控制，操作简单，可靠性好,提高了温度控制精度及工艺过程自动化水平。

附图说明

图1为本发明实施例提供的多工位扩散炉控制装置结构图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。需要说明的是，当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参照图1所示，图1为本发明实施例提供的多工位扩散炉控制装置结构图。本实施例中多工位扩散炉控制装置具体包括显示屏、可编程逻辑控制器、模数转换器、若干温度采集模块以及若干压力采集模块；所述显示屏连接可编程逻辑控制器；所述模数转换器连接可编程逻辑控制器；所述若干温度采集模块测量其所在工位的炉口、炉中、炉尾的温度，输出给模数转换器；所述若干压力采集模块采集所在罐体的炉膛压力，输出给模数转换器。

在本实施例中所述显示屏选用触摸液晶屏。在本实施例中所述温度采集模块采用铂热电偶。

本发明的技术方案以可编程逻辑控制器为核心,实现了对扩散炉温度和工艺过程的检测与控制，操作简单，可靠性好,提高了温度控制精度及工艺过程自动化水平。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。