[发明专利]利用飞秒激光光丝在硅晶体表面远程制备微结构的装置及方法在审
| 申请号： | 201610430067.8 | 申请日： | 2016-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN105834589A | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;徐淮良;詹学鹏 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | B23K26/352 | 分类号： | B23K26/352;B23K26/0622;B23K26/082 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 激光 晶体 表面 远程 制备 微结构 装置 方法 | ||
【权利要求书】：
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