[发明专利]一种高均匀度箱式退火炉及其退火方法在审
申请号: | 201610431606.X | 申请日: | 2016-06-16 |
公开(公告)号: | CN106116127A | 公开(公告)日: | 2016-11-16 |
发明(设计)人: | 周希光;王拓;徐华峰;徐光以 | 申请(专利权)人: | 湖北新华光信息材料有限公司 |
主分类号: | C03B25/00 | 分类号: | C03B25/00 |
代理公司: | 襄阳嘉琛知识产权事务所 42217 | 代理人: | 严崇姚 |
地址: | 441057 *** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 均匀 箱式 退火炉 及其 退火 方法 | ||
【权利要求书】:
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