[发明专利]一种制备择优取向碲化铋热电薄膜的方法有效
| 申请号： | 201610436198.7 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN106399937B | 公开（公告）日： | 2018-07-27 |
| 发明（设计）人： | 丁发柱;商红静;古宏伟;屈飞;张贺;张慧亮;董泽斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;H01L35/16;H01L35/34;C23C14/58;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 制备 择优取向 碲化铋 热电 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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