[发明专利]一种基于压电微泵的嵌入式制冷器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201610439019.5 | 申请日： | 2016-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN105977370B | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 罗文博;蒲诗睿;吴传贵;帅垚;张万里 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L35/02 | 分类号： | H01L35/02;H01L35/34 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 张杨 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电微泵 微流道 制冷器件 芯片散热 芯片 嵌入式 制备 功率半导体器件 温度分布均匀性 高密度集成 微电子器件 单个芯片 散热技术 散热能力 整体封装 制冷能力 体积小 微系统 散热 应用 | ||
【权利要求书】：
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