[发明专利]一种带氮化物保护层的石墨烯电极及其制备方法有效
申请号: | 201610442729.3 | 申请日: | 2016-06-20 |
公开(公告)号: | CN105931846B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 周艳文;佟欣儒;高健波;孟见成;吴法宇;赵卓 | 申请(专利权)人: | 辽宁科技大学 |
主分类号: | H01G9/04 | 分类号: | H01G9/04;H01L33/40;H01M4/04 |
代理公司: | 鞍山嘉讯科技专利事务所 21224 | 代理人: | 张群 |
地址: | 114044 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨烯 氮化物保护层 电极 制备 气化 真空蒸发镀膜 导电性 氮化物薄膜 导电性基础 真空热蒸镀 复合薄膜 固态薄膜 基体表面 加热蒸发 石墨电极 使用寿命 真空蒸镀 透光性 外表层 载玻片 沉积 划伤 薄膜 粒子 暴露 | ||
【权利要求书】:
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