[发明专利]一种PSS基AlN薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201610447112.0 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106086801A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 刘建哲;褚君尉;彭艳亮;杨新鹏;郑小琳;陈素春;徐良 | 申请（专利权）人： | 浙江东晶博蓝特光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 金华科源专利事务所有限公司 33103 | 代理人： | 胡杰平;吴佩 |
| 地址： | 321000 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pss aln 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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