[发明专利]镀敷设备有效
| 申请号： | 201610452990.1 | 申请日： | 2012-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN106149031B | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 南吉夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/06;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 梅高强;张丽颖 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 敷设 | ||
【权利要求书】：
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