[发明专利]一种单晶炉坩埚在审
申请号: | 201610453072.0 | 申请日: | 2016-06-22 |
公开(公告)号: | CN107523882A | 公开(公告)日: | 2017-12-29 |
发明(设计)人: | 袁玉平;闫鹏;袁佳斌 | 申请(专利权)人: | 江苏拜尔特光电设备有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 宜兴市天宇知识产权事务所(普通合伙)32208 | 代理人: | 丁骞 |
地址: | 214264 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 坩埚 | ||
技术领域
本发明涉及一种坩埚,具体涉及一种单晶炉用坩埚。
背景技术
目前,单晶炉坩埚一般都是一体式结构,在使用过程中慢慢变薄,以至于失去支撑强度,需要整体更换。
发明内容
发明目的:本发明的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种分体式结构,使用灵活的单晶炉坩埚。
技术方案:为了解决上述技术问题,本发明所述的一种单晶炉坩埚,它包括坩埚底座、坩埚圆筒壁和埚盖,所述坩埚圆筒壁至少由一段圆筒壁本体组成,在所述坩埚底座底部设有定位口,在所述坩埚底座顶部设有底座凸边,在所述坩埚圆筒壁底部设有筒壁凹口,所述坩埚底座和坩埚圆筒壁通过底座凸边和筒壁凹口定位连接,在所述坩埚圆筒壁顶部设有筒壁凸边,在所述埚盖底部设有埚盖凹口,所述坩埚圆筒壁和埚盖通过筒壁凸边和埚盖凹口定位连接,所述坩埚底座、每段圆筒壁本体和埚盖的高度比为2:3:2。
在每段所述圆筒壁本体的底部设有筒壁本体凹口,顶部设有筒壁本体凸边,相邻两段圆筒壁本体通过筒壁本体凹口和筒壁本体凸边定位连接。
所述坩埚底座为石墨坩埚底座。
所述坩埚圆筒壁为碳碳坩埚筒壁。
所述埚盖为石墨埚盖。
有益效果:本发明与现有技术相比,其显著优点是:本发明采用分体式结构,使用灵活,更换方便,无需整体替换,有效节约成本,采用高度比为2:3:2的坩埚底座、每段圆筒壁本体和埚盖,在反应炉内,整体结构稳定性高,采用碳碳坩埚筒壁,它可以用150炉左右,大大提高了使用寿命,符合实际使用要求。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
如图1所示,本发明所述的一种单晶炉坩埚,它包括坩埚底座1、坩埚圆筒壁2和埚盖3,所述坩埚圆筒壁2至少由一段圆筒壁本体4组成,在所述坩埚底座1底部设有定位口5,在所述坩埚底座2顶部设有底座凸边6,在所述坩埚圆筒壁2底部设有筒壁凹口7,所述坩埚底座1和坩埚圆筒壁2通过底座凸边6和筒壁凹口7定位连接,在所述坩埚圆筒壁2顶部设有筒壁凸边8,在所述埚盖3底部设有埚盖凹口9,所述坩埚圆筒壁2和埚盖3通过筒壁凸边8和埚盖凹口9定位连接,所述坩埚底座1、每段圆筒壁本体4和埚盖3的高度比为2:3:2;在每段所述圆筒壁本体4的底部设有筒壁本体凹口10,顶部设有筒壁本体凸边11,相邻两段圆筒壁本体4通过筒壁本体凹口10和筒壁本体凸边11定位连接;所述坩埚底座1为石墨坩埚底座;所述坩埚圆筒壁2为碳碳坩埚筒壁;所述埚盖3为石墨埚盖。本发明采用分体式结构,使用灵活,更换方便,无需整体替换,有效节约成本,采用高度比为2:3:2的坩埚底座、每段圆筒壁本体和埚盖,在反应炉内,整体结构稳定性高,采用碳碳坩埚筒壁,它可以用150炉左右,大大提高了使用寿命,符合实际使用要求。
本发明提供了一种思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围,本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。
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