[发明专利]膜厚检测装置有效
| 申请号： | 201610457727.1 | 申请日： | 2016-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN106091912B | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 姜利 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 韩建伟;李志刚 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 膜厚检测装置 检测电极 公共电极 信号处理电路 公共表面 检测表面 检测通道 偏差信号 消除检测 预设位置 电极 检测 | ||
【权利要求书】：
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