[发明专利]一种透明介质微结构均匀改性加工的方法

权利要求书

1.一种透明介质微结构均匀改性加工的方法，其特征在于，包括：

利用第一激光对透明介质进行加工，以使加工后的透明介质形成若干个改性区域，所述第一激光包含产生高温晶格的激光和对高温晶格再加工的激光，且两者之间具有预设的时间间隔；

将经过改性之后的透明介质浸入至腐蚀溶液中，以使所述改性区域被腐蚀，验证其加工均匀性并形成若干个中空的微结构；

其中，形成每一个改性区域的步骤包括：

将第一激光聚焦至透明介质的该微结构预设的起始位置；所述预设的起始位置为位于透明介质的内部，且与透明介质朝向所述第一激光的外表面具有预设厚度的位置；

移动所述透明介质并同时调整所述第一激光中两路光束的光路，使得第一激光对所述透明介质从所述预设的起始位置开始进行改性，其中，第一激光中先到达透明介质的一路脉冲使改性区域产生高温晶格，后到达透明介质的一路脉冲对已产生的高温晶格改性进行再加工，第一激光对所述透明介质的加工改性直至该微结构预设的终止位置为止，以使位于起始位置以及终止位置之间的材料被改性，形成改性区域；

产生高温晶格激光和对高温晶格再加工的激光之间预设的时间间隔为300±5皮秒；

产生高温晶格激光和对高温晶格再加工的激光均为皮秒脉冲；或，

产生高温晶格激光和对高温晶格再加工的激光中的一路为飞秒脉冲，另一路为皮秒脉冲。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述产生高温晶格激光和对高温晶格再加工的激光的波长任意，但激光脉宽小于10皮秒。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述产生高温晶格激光和对高温晶格再加工的激光的能量比为0.5-2。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述腐蚀溶液为氢氟酸溶液。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述氢氟酸溶液的浓度为1％-15％。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一激光为由同一光束经过分光并经过脉冲调整而形成的第一激光，或由两束光束组合形成的第一激光。