[发明专利]平面光学元件表面疵病的检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种检测装置，所述检测装置用于检测平面光学元件的表面疵病，其特征在于，所述检测装置包括：

工作台；

气动浮台，所述气动浮台设置于所述工作台上，且能够绕自身轴线以一定角速度转动，所述气动浮台用于放置待检测的光学元件；

三轴移动滑台，所述三轴移动滑台设置于所述工作台上；

显微物镜成像设备，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述三轴移动滑台的末端，所述显微物镜成像设备用于在所述气动浮台转动过程中实时地对所述光学元件进行拍照并保存，以记录所述光学元件表面疵病信息；

所述三轴移动滑台将所述显微物镜成像设备移动至所述气动浮台的正中心，且在每间隔一预设时间时，驱动所述显微物镜成像设备向所述气动浮台的边缘移动一预设距离，直至所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台上的光学元件的边缘；

所述检测装置还包括控制器，所述控制器用于存储所述气动浮台的各个位置点的坐标，并用于控制所述三轴移动滑台的精确运动，和控制所述显微物镜成像设备拍摄照片并存储所拍摄的照片，所述控制器还用于分析所拍摄照片以确定所述光学元件是否具有疵病；

所述三轴移动滑台包括第一滑轨，第二滑轨和第三滑轨，所述第一滑轨设置于所述工作台上，所述第二滑轨与所述第一滑轨垂直，且可滑动地设置于所述第一滑轨上，所述第三滑轨同时垂直于所述第一滑轨和第二滑轨，且可滑动地设置于所述第二滑轨上，所述显微物镜成像设备可滑动地设置于所述第三滑轨靠近所述气动浮台的一端；

所述检测装置还包括光源，所述光源设置于所述工作台上，所述光源与所述气动浮台相对，所述光源发出的光能够在所述光学元件内折射和衍射，使得所述光学元件的疵病形成可被所述显微物镜成像装置拍摄到的光斑。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述工作台包括支撑本体及设置于所述支撑本体上的支撑柱，所述支撑本体与所述支撑柱之间形成一收容空间，所述气动浮台设置于所述收容空间内，所述三轴移动滑台设置于所述支撑柱上。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，在所述显微物镜成像设备向所述气动浮台的边缘移动所述预设距离时，所述三轴移动滑台驱动所述显微物镜成像设备向靠近所述气动浮台的方向运动，使得所述显微物镜成像设备走出与所述光学元件表面曲线相适应的轨迹。

4.一种应用于权利要求1-3任一项所述的检测装置上的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括步骤：

将待测光学元件放置在所述气动浮台上；

调节所述三轴移动滑台使得所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台的正中心；

调节所述显微物镜成像设备使所述气动浮台上的光学元件位于所述显微物镜成像设备的镜头工作距内，保证所述显微物镜成像设备可以清楚成像；及

所述三轴移动滑台在每间隔一预设时间时，驱动所述显微物镜成像设备向所述气动浮台的边缘移动一预设距离，直至所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台的光学元件边缘。

5.如权利要求4所述的检测方法，其特征在于，步骤“调节所述三轴移动滑台使得所述显微物镜成像设备位于所述气动浮台的正中心”具体为：

沿着所述第一滑轨移动所述第二滑轨使所述第二滑轨位于所述气动浮台的中心线上，沿着所述第二滑轨移动所述第三滑轨使所述第三滑轨位于所述气动浮台的中心线上。

6.如权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法还包括步骤：

所述光源从侧面照射所述气动浮台及其上的光学元件，所述光源发出的光能够在所述光学元件内折射和衍射，使得所述光学元件的疵病形成可被所述显微物镜成像装置拍摄到的光斑。

7.如权利要求4所述的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括步骤：

在所述显微物镜成像设备向所述气动浮台的边缘移动所述预设距离时，所述三轴移动滑台驱动所述显微物镜成像设备向靠近所述气动浮台的方向运动，使得所述显微物镜成像设备走出与所述光学元件表面曲线相适应的轨迹。