[发明专利]一种多晶硅还原炉有效
申请号: | 201610463754.X | 申请日: | 2016-06-23 |
公开(公告)号: | CN106115711B | 公开(公告)日: | 2018-06-29 |
发明(设计)人: | 黄雪;李岩;张建新;张海峰 | 申请(专利权)人: | 南京德邦金属装备工程股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人: | 陈建和 |
地址: | 211100 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 底盘 电极 炉体 吊装 多晶硅还原炉 原料气进口 竖直安装 半球顶 圆柱状 均布 反应腔室 交错分布 上端位置 尾气出口 对电极 交界处 进气管 圆盘状 底端 平齐 | ||
【权利要求书】:
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