[发明专利]一种基于露芯塑封工艺的TSV芯片封装件及其制造方法在审
申请号: | 201610466594.4 | 申请日: | 2016-06-23 |
公开(公告)号: | CN105977214A | 公开(公告)日: | 2016-09-28 |
发明(设计)人: | 谢建友;李涛涛;郭雁冰;马晓波 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/04 | 分类号: | H01L23/04;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 710000 陕西省西安*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 塑封 工艺 tsv 芯片 封装 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】:
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