[发明专利]一种扩散炉用防热散失隔热门

说明书

技术领域

本发明涉及一种扩散炉，特别涉及一种扩散炉用防热散失隔热门。

背景技术

扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、镀膜、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。传统高温扩散炉的口部是依靠一块石英平板来进行简单的封盖，但由于石英平板不能起到高效隔热的作用，所以极易造成炉内的热量由炉口处快速流失，而此时的高温扩散炉只能通过提高加热功率来补偿流失的热量，这不但导致热利用率较低，而且还极大的浪费了能源。

发明内容

本发明的目的就在于提供一种结构简单，隔热效果好，热利用率高的扩散炉用防热散失隔热门。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是这样的：本发明的扩散炉用防热散失隔热门，包括隔热门本体，所述隔热门本体包括隔热筒和隔热盖，隔热盖与隔热筒形成一密封空间，隔热盖与隔热筒之间设置有连接筋，所述密封空间内填充有隔热材料，隔热筒的外壁上设置有保护层，隔热筒一侧设置有连接件，所述隔热盖的外侧设置有吊环。

作为优选，所述隔热筒和隔热盖采用碳化硅制成。

作为优选，所述保护层采用石英制成。

作为优选，所述隔热材料为陶瓷纤维或石英纤维。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明结构简单，通过采用隔热筒和隔热盖组成的双层结构，从而在简单有效的封盖住高温扩散炉的炉口同时，还通过在隔热盖和隔热筒组成的密封空间内填充的隔热材料有效的隔离了炉内的高温，使炉内的热量难以传导至外部，即达到了隔离炉内的热辐射，减少热量流失的目的；隔热盖与隔热筒之间设置有连接筋，增强了隔热门的强度，延长其使用寿命，设置连接件，便于安装，设置吊环，方便使用，本发明适合推广使用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

参见图1，本发明的扩散炉用防热散失隔热门，包括隔热门本体，所述隔热门本体包括隔热筒1和隔热盖2，隔热盖2与隔热筒1形成一密封空间，隔热盖2与隔热筒1之间设置有连接筋4，所述密封空间内填充有隔热材料5，隔热筒1的外壁上设置有保护层3，隔热筒1一侧设置有连接件6，所述隔热盖2的外侧设置有吊环7，所述隔热筒1和隔热盖2采用碳化硅制成，所述保护层3采用石英制成，所述隔热材料5为陶瓷纤维或石英纤维。

隔热门采用隔热筒1和隔热盖2组成双层结构，从而在简单有效的封盖住高温扩散炉的炉口同时，还通过在隔热盖2和隔热筒1组成的密封空间内填充的隔热材料5有效的隔离了炉内的高温，使炉内的热量难以传导至外部，即达到了隔离炉内的热辐射，减少热量流失的目的；隔热盖2与隔热筒1之间设置有连接筋4，增强了隔热门的强度，延长其使用寿命，设置连接件6，便于安装，设置吊环7，方便使用，本发明结构简单，适合推广使用。