[发明专利]晶硅片切割刃料细粉去除方法有效
申请号: | 201610467632.8 | 申请日: | 2016-06-24 |
公开(公告)号: | CN106179715B | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 辛玲;王杰;任真;宋中学;申君来;杨正宏;孙毅;高敏杰 | 申请(专利权)人: | 河南易成新能源股份有限公司 |
主分类号: | B03B7/00 | 分类号: | B03B7/00 |
代理公司: | 河南科技通律师事务所 41123 | 代理人: | 樊羿;韩松 |
地址: | 475000*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 切割 刃料细粉 去除 方法 | ||
【权利要求书】:
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