[发明专利]成膜装置及层叠体有效
| 申请号： | 201610473468.1 | 申请日： | 2016-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN106555160B | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 大泽笃史 | 申请（专利权）人： | 株式会社思可林集团 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/10;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 层叠 | ||
【权利要求书】：
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