[发明专利]一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法有效
| 申请号： | 201610476837.2 | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN106199071B | 公开（公告）日： | 2018-08-21 |
| 发明（设计）人： | 石云波;刘俊;冯恒振;秦丽;唐军;马宗敏;曹慧亮;连树仁;孙亚楠;韩兴宇 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;王勇 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 过载 量程 电容 加速度 传感器 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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