[发明专利]准全程补偿的激光回馈干涉仪有效

专利信息
申请号: 201610477872.6 申请日: 2016-06-27
公开(公告)号: CN106017307B 公开(公告)日: 2018-12-11
发明(设计)人: 张书练;徐玲 申请(专利权)人: 南京法珀仪器设备有限公司
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 深圳市鼎言知识产权代理有限公司 44311 代理人: 娜拉
地址: 210036 江苏省南京市建邺区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 全程 补偿 激光 回馈 干涉仪
【权利要求书】:
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