[发明专利]一种多晶硅片切削液的制备方法有效
| 申请号： | 201610483992.7 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106118822B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 郭舒洋;薛培龙 | 申请（专利权）人： | 上海都昱新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10M177/00;C10N30/04;C10N30/06 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 陆永强 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 多晶硅片 切削液 材料加工技术 粉末搅拌混合 二乙醇胺 分散性能 硅片表面 荷叶表面 加热混合 润滑性能 三氟乙酸 成品率 山茶油 划痕 薄膜 加热 切割 | ||
【权利要求书】：
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