[发明专利]一种多晶硅铸锭用硅夹层氮化硅涂层的制备方法在审
| 申请号： | 201610485333.7 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN105862123A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张嵘;刘久明;颜记朋 | 申请（专利权）人： | 河北高富氮化硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06;B05D1/38;B05D1/02;B05D3/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 054300 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 铸锭 夹层 氮化 涂层 制备 方法 | ||
【说明书】：
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