[发明专利]湿制程设备清洁装置及湿制程设备在审
| 申请号： | 201610487931.8 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106081561A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 阳振军;汪永佳 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B65G45/18 | 分类号： | B65G45/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 湿制程 设备 清洁 装置 | ||
【说明书】：
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