[发明专利]一种掩膜版组件及其安装方法、蒸镀装置有效
| 申请号： | 201610493408.6 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN106086782B | 公开（公告）日： | 2018-10-23 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震;张健;唐富强;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 组件 及其 安装 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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