[发明专利]一种均匀性的多弧离子镀膜设备有效
| 申请号： | 201610495743.X | 申请日： | 2016-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN105986229B | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 朱文廓;朱刚劲;朱刚毅 | 申请（专利权）人： | 广东腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/50 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 均匀 离子 镀膜 设备 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东腾胜真空技术工程有限公司，未经广东腾胜真空技术工程有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610495743.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于基板涂覆的溅射装置
- 下一篇：一种渗锌工艺
- 同类专利
- 专利分类
