[发明专利]曝光装置、物体的更换方法、曝光方法、以及元件制造方法有效
| 申请号： | 201610497314.6 | 申请日： | 2011-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106019852B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 任默闻 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 物体 更换 方法 以及 元件 制造 | ||
【说明书】：
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