[发明专利]一种平面螺旋电感的新型制作方法有效
| 申请号： | 201610499863.7 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN106129047B | 公开（公告）日： | 2018-11-06 |
| 发明（设计）人： | 杨静;张富强;孟美玉;李光北;王碧 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;B81C1/00 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 杨春颖 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 平面 螺旋 电感 新型 制作方法 | ||
【说明书】：
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