[发明专利]在硅片上制备均匀微纳复合绒面的方法

权利要求书

1.在硅片上制备均匀微纳复合绒面的方法，其特征在于，包括：制绒，以及制绒后的清洗；

所述制绒包括：将硅片置于制绒液中，在30～70℃浸泡1～30min，得到具有微纳复合绒面的硅片；

所述制绒后的清洗包括：对硅片进行制绒后的清洗，除去硅片表面残留的金属纳米颗粒；

所述制绒液由0.1～60mmol/L铜离子源、0.05～20mol/L氢氟酸、0.01～5mol/L氧化剂、0.001μmol/L～10mmol/L表面活性剂和去离子水组成；

所述铜离子源选自氯化铜和硫酸铜；

所述氧化剂选自过硫酸盐、硝酸、过硫酸氢盐、硝酸盐、焦磷酸盐、磷酸盐；

所述表面活性剂选自磺酸盐类表面活性剂、硫酸酯盐类表面活性剂、聚丙烯酸-丙烯酰胺-磺酸盐聚合物、聚吡咯烷酮、季铵盐类表面活性剂、咪唑啉季铵盐、吡咯烷酮、氨基酸类表面活性剂、氧化胺类表面活性剂、乙二胺四乙酸、烷基醇酰胺；

所述磺酸盐类表面活性剂选自脂肪酸甲酯磺酸钠、烷基二苯醚二磺酸盐、椰油基羟基乙烷磺酸盐；

所述硫酸酯盐类表面活性剂选自月桂醇硫酸酯钠、月桂醇聚氧乙烯醚硫酸钠、甘油单酸酯二硫酸钠；

所述聚丙烯酸-丙烯酰胺-磺酸盐聚合物选自丙烯酸-丙烯酸酯-磺酸盐三元共聚物、丙烯酸-2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸盐共聚物；

所述聚吡咯烷酮选自聚乙烯吡咯烷酮、乙烯基吡咯烷酮-乙烯酯共聚物；

所述季铵盐类表面活性剂选自双十六烷基二甲基溴化铵、二甲基十八烷基氯化铵、聚二甲基二烯丙基氯化铵、甲基三辛基氯化铵；

所述咪唑啉季铵盐选自单咪唑啉季铵盐、双咪唑啉季铵盐；

所述吡咯烷酮选自2-吡咯烷酮、N-辛基吡咯烷酮、N-乙烯基吡咯烷酮、N-十六烷基吡咯烷酮、1-甲基-2-吡咯烷酮；

所述氨基酸类表面活性剂选自十二烷基二亚甲基氨基二甲酸钠、十二烷基氨基丙酸钠；

所述氧化胺类表面活性剂选自十二烷基二甲基氧化胺、月桂酰基丙基氧化胺、椰油酰胺丙基氧化胺；

所述烷基醇酰胺选自月桂酰二乙醇胺、N,N-双羟乙基十二烷基酰胺、十二烷基醇酰胺。

2.根据权利要求1所述的在硅片上制备均匀微纳复合绒面的方法，其特征在于，所述制绒后的清洗，包括如下具体步骤：将制绒后的硅片置于质量百分比浓度为0.5%的NaOH溶液中，温度控制在60℃，浸泡20～30秒；再将硅片置于质量百分比浓度为20%～69%的硝酸溶液中，室温浸泡60秒；再将硅片置于酸性清洗液中，温度控制在60～80℃，浸泡60秒；再将硅片置于质量百分比浓度为2%～40%的氢氟酸溶液中，室温浸泡30秒；

所述酸性清洗液由氯化氢、过氧化氢和去离子水组成，其中氯化氢的质量百分比为3%～5%，过氧化氢的质量百分比为2%～4%，余量为去离子水。

3.根据权利要求1或2所述的在硅片上制备均匀微纳复合绒面的方法，其特征在于，还包括制绒前的清洗。

4.根据权利要求3所述的在硅片上制备均匀微纳复合绒面的方法，其特征在于，所述制绒前的清洗，包括如下具体步骤：先将硅片置于30～80℃的碱性清洗液中清洗10min，再置于去离子水中清洗；

所述碱性清洗液由氢氧化钠、过氧化氢和去离子水组成，其中氢氧化钠的质量百分比为3%～12%，过氧化氢的质量百分比为2%～21%，余量为去离子水。