[发明专利]一种硅片甩干机在审
申请号: | 201610504476.8 | 申请日: | 2016-06-30 |
公开(公告)号: | CN107564831A | 公开(公告)日: | 2018-01-09 |
发明(设计)人: | 崔敏娟 | 申请(专利权)人: | 崔敏娟 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英 |
地址: | 214177 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 甩干机 | ||
技术领域
本发明涉及光伏领域,尤其涉及一种硅片甩干机。
背景技术
目前,硅片在生产过程中,在切割过后需进行清洗,清洗过后需要进行甩干,然而,现有市场上的硅片甩干机,存在结构复杂,价格高,易损坏,使用寿命短的问题,由此,急需解决。
发明内容
本发明的目的在于针对上述问题,提供一种硅片甩干机,以解决现有硅片甩干机结构复杂,价格高,易损坏,使用寿命短的问题。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现:
一种硅片甩干机,包括驱动电机及机壳,所述机壳的上端可开闭的连接有上盖,机壳内设置有甩干筒,所述甩干筒的上部设置有开口,且甩干筒内设置有用于容置硅片的腔室,甩干筒的外壁上开有多个出水孔,所述机壳的外侧壁上开有排水孔,所述驱动电机的输出轴穿过机壳的底板伸入机壳内,并与甩干筒的主轴传动连接,所述驱动电机的输出轴与机壳的底板密封连接。
作为本发明的一种优选方案,所述机壳的底板倾斜布置。
作为本发明的一种优选方案,所述驱动电机为减速电机。
作为本发明的一种优选方案,所述驱动电机的输出轴通过联轴器与甩干筒的主轴传动连接。
本发明的有益效果为,所述一种硅片甩干机具有结构简单,易于实现,成本低,使用寿命长的特点。
附图说明
图1为本发明一种硅片甩干机的结构示意图。
图中:
1、驱动电机;2、机壳;3、上盖;4、甩干筒;5、出水孔;6、排水孔;7、底板。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是,此处所描述的实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。
请参照图1所示,图1为本发明一种硅片甩干机的结构示意图。
于本实施例中,一种硅片甩干机,包括驱动电机1及机壳2,所述驱动电机1为减速电机,所述机壳2的上端可开闭的连接有上盖3,机壳2内设置有甩干筒4,所述甩干筒4的上部设置有开口,且甩干筒4内设置有用于容置硅片的腔室,甩干筒4的外壁上开有多个出水孔5,所述机壳2的外侧壁上开有排水孔6,所述驱动电机1的输出轴穿过机壳2的底板7伸入机壳内,并通过联轴器与甩干筒4的主轴传动连接,所述驱动电机1的输出轴与机壳2的底板密封连接,所述机壳2的底板7倾斜布置。
上述一种硅片甩干机具有结构简单,易于实现,成本低,使用寿命长的特点。
以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性,本发明不受上述实施例限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书界定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造