[发明专利]抑制干扰的微机电陀螺仪以及感测角速率的方法

权利要求书

1.一种微机电陀螺仪，包括：

衬底(2；102；202；302)；

第一结构(11；111；211；311)、第二结构(12；112；212；312)和第三结构(10；110；210；310)，所述第一结构、所述第二结构和所述第三结构中的每一个均弹性地耦合至所述衬底(2；102；202；302)以沿着第一轴(X)在驱动方向上可移动，所述第一结构(11；111；211；311)和所述第二结构(12；112；212；312)相对于所述第一轴(X)布置在所述第三结构(10；110；210；310)的相对侧；

驱动系统(4、16a、16b、20a、20b；216a、216b、220a、220b；316a、316b、320a、320b)，被配置为彼此同相地沿着所述第一轴(X)振荡所述第一结构(11；111；211；311)和所述第二结构(12；112；212；312)，并且被配置为与所述第一结构(11；111；211；311)和所述第二结构(12；112；212；312)反相地沿着所述第一轴(X)振荡所述第三结构(10；110；210；310)；

所述第一结构(11；111；211；311)、所述第二结构(12；112；212；312)和所述第三结构(10；110；210；310)设置有感测电极(17a、21a；117a、121a；217a、221a；317a、321a)的相应集合，被配置为响应于所述衬底(2；102；202；302)关于垂直于所述第一轴(X)和第二轴(Y)的第三轴(Z)的旋转而沿着垂直于所述第一轴(X)的所述第二轴(Y)在感测方向上偏移，

其中所述第三结构(10；110；210；310)包括彼此刚性连接的第一结构部(10’；210’)和第二结构部(10”；210”)，所述第一结构部(10’；210’)相对于所述第一结构(11；211)对称，以及所述第二结构部(10”；210”)相对于所述第二结构(12；212)对称。

2.根据权利要求1所述的陀螺仪，其中每个感测电极(17a、21a；117a、121a；217a、221a；317a、321a)电容性地耦合至相应的第一定子感测电极(17b、21b；117b、121b；217b、221b；317b、321b)和相应的第二定子感测电极(17c、21c；117c、121c；217c、221c；317c、321c)。

3.根据权利要求2所述的陀螺仪，其中所述第一定子感测电极(17b、21b；117b、121b；217b、221b；317b、321b)和所述第二定子感测电极(17c、21c；117c、121c；217c、221c、317c、321c)被布置为，使得每个感测电极(17a、21a；117a、121a；217a、221a；317a、321a)和相应的第一定子感测电极(17b、21b；117b、121b；217b、221b；317b、321b)响应于所述第一结构(11；111；211；311)、所述第二结构(12；112；212；312)和所述第三结构(10；110；210；310)中的相应一个沿着所述第二轴(Y)在所述感测方向上或者与所述感测方向相反的位移而失衡。

4.根据权利要求3所述的陀螺仪，包括读接口(23)，所述读接口被配置为感测每个感测电极(17a、21a；117a、121a；217a、221a；317a、321a)与相应的第一定子感测电极(17b、21b；117b、121b；217b、221b；317b、321b)之间的电容耦合的失衡。

5.根据权利要求4所述的陀螺仪，其中所述读接口(23)具有第一输入和第二输入，所述第一定子感测电极(17b、21b；117b、121b；217b、221b；317b、321b)电耦合至所述第一输入，并且所述第二定子感测电极(17c、21c；117c、121c；217c、221c；317c、321c)电耦合至所述第二输入。