[发明专利]一种硅单晶炉在审
| 申请号： | 201610514477.0 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107557855A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 崔敏娟 | 申请（专利权）人： | 崔敏娟 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英 |
| 地址： | 214177 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅单晶炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体的一侧设置有抽真空口，炉体内位于其下部设置有保温筒，所述保温筒内设置有石墨钳锅，所述石墨钳锅的外侧设置有加热器，所述加热器与电极相连，所述石墨钳锅内设置有石英钳锅，保温筒内位于石英钳锅的上部设置有导流筒，炉体内位于导流筒的上部设置有冷却筒，所述冷却筒设置有夹层，所述夹层内通有循环冷却水。
2.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉，其特征在于：所述保温筒与炉体之间设置有保温材料。
3.根据权利要求1所述的一种硅单晶炉，其特征在于：所述保温材料为保温毡。
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