[发明专利]等离子体处理装置及其中使用的排气结构有效
| 申请号： | 201610516168.7 | 申请日： | 2016-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN106328473B | 公开（公告）日： | 2018-11-13 |
| 发明（设计）人： | 宇津木康史;东条利洋;山涌纯;藤永元毅 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 其中 使用 排气 结构 | ||
【说明书】：
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